涂布核心部件、鋰電涂布技術(shù)解決方案、泛半導(dǎo)體涂布技術(shù)解決方案、氫燃料電池涂布技術(shù)解決方案、測(cè)量系統(tǒng)解決方案
泛半導(dǎo)體涂布技術(shù)解決方案曼恩斯特依托在涂布技術(shù)領(lǐng)域的多年技術(shù)沉淀，助力芯片裝備國(guó)產(chǎn)化，加速鈣鈦礦光伏落地及降本；通過(guò)平板涂布系統(tǒng)，PVD鍍膜等成膜方式，提升制膜設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率，助力鈣鈦礦太陽(yáng)能電池從實(shí)驗(yàn)室走向大面積產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)。
量產(chǎn)級(jí)涂布系統(tǒng)2400*1200mm量產(chǎn)型涂布系統(tǒng)已成功實(shí)現(xiàn)目前國(guó)內(nèi)涂布設(shè)備企業(yè)的最大涂寬：2.4m，組件尺寸能達(dá)到2.88㎡。此款量產(chǎn)級(jí)涂布系統(tǒng)涂布節(jié)拍快，除邊小，納米級(jí)的大面積涂層厚度可控性強(qiáng)，將助力客戶(hù)電池（組件）轉(zhuǎn)化效率大幅提升。詳細(xì)介紹產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
1、設(shè)備配備減震機(jī)構(gòu)，保障涂布過(guò)程涂布膜層均一性。
2、整套系統(tǒng)搭載FFU空氣凈化系統(tǒng)，保障設(shè)備運(yùn)行及產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程潔凈度要求。
3、搭配了高精度注液泵出液精度于1%。
4、排廢及清洗一體化，有預(yù)涂或預(yù)擠出等設(shè)計(jì)，確保設(shè)備運(yùn)行時(shí)狹縫模頭內(nèi)無(wú)氣泡。
5、平臺(tái)采用加厚大理石，底座采用楔形防震座設(shè)計(jì)，現(xiàn)場(chǎng)VCA防震即能滿足穩(wěn)定性要求。
產(chǎn)品參數(shù)
鈣鈦礦疊層量產(chǎn)型平板涂布機(jī)鈣鈦礦疊層量產(chǎn)型平板涂布機(jī)，配備了自主研發(fā)生產(chǎn)的專(zhuān)用疊層涂布治具，結(jié)合高精度供液泵與高精密狹縫模頭，在涂布作業(yè)過(guò)程中，能夠?qū)⑺幰壕鶆蚯腋咝У貪M涂于基板之上，構(gòu)建出具有高均勻性的薄膜層。詳細(xì)介紹產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
1、配備全自動(dòng)檢測(cè)-調(diào)平-減震機(jī)構(gòu)，有效保障硅片涂布過(guò)程的穩(wěn)定性。
2、領(lǐng)先的自動(dòng)化上下料控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)高精度、高速度、高通量的膜層涂布。
3、搭載自主研發(fā)的高精度注射泵，控制分辨率0.01μl/s，響應(yīng)時(shí)間0.01S。
4、專(zhuān)利的卡盤(pán)設(shè)計(jì)，確保涂布過(guò)程中膜層高均一性。
產(chǎn)品參數(shù)
鈣鈦礦疊層實(shí)驗(yàn)型平板涂布機(jī)鈣鈦礦疊層實(shí)驗(yàn)型平板涂布機(jī)采用桌面式設(shè)計(jì)，其搭配了自主生產(chǎn)研發(fā)的高精度涂膠Pump、高精密狹縫模頭、刮刀頭以及涂布邊緣補(bǔ)償平臺(tái)，涂布時(shí)可以將藥液，均勻涂覆在整個(gè)晶硅基板上，從而在基板上制備薄膜，涂布形成的膜層厚度均一性高。詳細(xì)介紹產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
1、配備全自動(dòng)檢測(cè)-調(diào)平-減震機(jī)構(gòu)，有效保障硅片涂布過(guò)程的穩(wěn)定性。
2、領(lǐng)先的自動(dòng)化上下料控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)高精度、高速度、高通量的膜層涂布。
3、搭載自主研發(fā)的高精度注射泵，控制分辨率0.01μl/s，響應(yīng)時(shí)間0.01S。
4、專(zhuān)利的卡盤(pán)設(shè)計(jì)，確保涂布過(guò)程中膜層高均一性。
產(chǎn)品參數(shù)
實(shí)驗(yàn)室桌面涂布機(jī)實(shí)驗(yàn)室桌面涂布機(jī)以模塊化設(shè)計(jì)為特色，能夠依據(jù)客戶(hù)的特定需求進(jìn)行定制化打造。其具備高精度配置，配備有量產(chǎn)型精度注射泵以及可進(jìn)行微調(diào)的模頭，展現(xiàn)出卓越的性能表現(xiàn)。詳細(xì)介紹產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
1、基座采用大理石材質(zhì)，平臺(tái)采用000級(jí)大理石材質(zhì)。
2、高精度配置，搭載量產(chǎn)級(jí)精度注射泵和可微調(diào)模頭。
產(chǎn)品參數(shù)
200×200桌面涂布機(jī)桌面涂布機(jī)采用精巧的模塊化設(shè)計(jì)理念，具備高度靈活的定制特性，可精準(zhǔn)契合客戶(hù)的多元化需求。適用于狹縫式平板涂布技術(shù)領(lǐng)域，針對(duì)納米及亞微米級(jí)功能性圖層的涂布實(shí)驗(yàn)、墨水調(diào)試、工藝研究、小規(guī)模制樣研發(fā)等。詳細(xì)介紹產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
1、尺寸小，可在手套箱內(nèi)使用。
2、性?xún)r(jià)比高。
3、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單涂布性能穩(wěn)定。產(chǎn)品參數(shù)
柔性鈣鈦礦涂布機(jī)柔性鈣鈦礦涂布機(jī)采用柔性基材，運(yùn)用卷對(duì)卷傳送模式，借助高精密狹縫涂布系統(tǒng)把藥液精準(zhǔn)涂布于柔性卷材之上，隨后利用烘箱進(jìn)行烘烤，促使膜層結(jié)晶，最終形成具有高度均一性的薄膜層。詳細(xì)介紹產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
1、MES聯(lián)動(dòng)，可遠(yuǎn)程云端控制模式。
2、可復(fù)合多種基材。
3、設(shè)備配有專(zhuān)用脫氣模組降氣泡對(duì)涂層影響。
4、涂布區(qū)搭載FFU空氣凈化系統(tǒng)，保障設(shè)備運(yùn)行及產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程潔凈度要求。產(chǎn)品參數(shù)
高通量鈣鈦礦疊層涂布機(jī)狹縫式疊層涂布設(shè)備搭配了自主生產(chǎn)研發(fā)的專(zhuān)用疊層涂布治具、高精度供液泵、高精密狹縫模頭，涂布時(shí)可以將藥液均勻有效滿涂在基板上，形成高均勻性薄膜層。詳細(xì)介紹產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
1、MES聯(lián)動(dòng)，可遠(yuǎn)程云端控制模式。
2、更換治具兼容不同產(chǎn)品。
3、設(shè)備配有專(zhuān)用脫氣模組降氣泡對(duì)涂層影響。
4、涂布區(qū)搭載FFU空氣凈化系統(tǒng)，保障設(shè)備運(yùn)行及產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程潔凈度要求。
產(chǎn)品參數(shù)
VCD-真空干燥適用于將涂布工程后膜層表面溶液中的溶劑與溶質(zhì)實(shí)現(xiàn)快速分離，從而實(shí)現(xiàn)膜層的初步干燥或預(yù)結(jié)晶。詳細(xì)介紹產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
1、大抽氣量干式真空泵，適配客戶(hù)抽氣要求。
2、高密封性Chamber。
3、支持快慢抽，真空壓力下降曲線多段調(diào)整。
產(chǎn)品參數(shù)
臥式點(diǎn)源蒸鍍?cè)O(shè)備臥式點(diǎn)源蒸鍍?cè)O(shè)備適用于光伏、OLED、QLED等領(lǐng)域，可實(shí)現(xiàn)有機(jī)材料、金屬或者無(wú)機(jī)材料的沉積。設(shè)備配置分布式點(diǎn)源，根據(jù)材料物理特性，選擇性的配置金屬或者陶瓷點(diǎn)源，根據(jù)產(chǎn)品的幅寬，配置不同的點(diǎn)源數(shù)量。膜層沉積配置高精度晶振系統(tǒng)，可精確控制鍍層厚度。在鍍層均勻性上，采用PID與晶振聯(lián)動(dòng)的模式，控制點(diǎn)源蒸發(fā)溫度以及材料蒸發(fā)速率。詳細(xì)介紹產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
1、模塊化腔體設(shè)計(jì)
2、高精度蒸發(fā)源結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
3、定制化生產(chǎn)節(jié)拍
4、根據(jù)客戶(hù)需求，可定制試驗(yàn)、中試、量產(chǎn)機(jī)型
產(chǎn)品參數(shù)
磁控濺射連續(xù)線真空鍍膜設(shè)備磁控濺射連續(xù)線真空鍍膜設(shè)備適用于光伏、觸控顯示、光學(xué)、裝飾、電磁屏蔽等領(lǐng)域，可實(shí)現(xiàn)介質(zhì)膜、導(dǎo)電膜的沉積。針對(duì)鈣鈦礦光伏領(lǐng)域，設(shè)備配置低損傷陰極，可有效保護(hù)鈣鈦礦功能涂層，降低高能電子損傷。針對(duì)其他應(yīng)用領(lǐng)域，通過(guò)配置不同的靶位材料，按照工藝順序，依次布局靶位，可實(shí)現(xiàn)最終的產(chǎn)品效果。詳細(xì)介紹產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
1、模塊化腔體設(shè)計(jì)，定制化單面/雙面鍍膜靶位
2、連續(xù)性產(chǎn)品輸出，定制化生產(chǎn)節(jié)拍
3、低電子損傷鍍層靶位設(shè)計(jì)
4、根據(jù)客戶(hù)需求，可定制試驗(yàn)、中試、量產(chǎn)機(jī)型
產(chǎn)品參數(shù)
單體磁控真空鍍膜設(shè)備單體磁控真空鍍膜設(shè)備適用于硬質(zhì)涂層、氫能源雙極板、裝飾等領(lǐng)域，可實(shí)現(xiàn)硬質(zhì)膜、、介質(zhì)膜、導(dǎo)電膜的沉積。設(shè)備配置公自轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)架，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品全方位鍍膜。根據(jù)產(chǎn)品鍍膜功能性選擇需求，通過(guò)配置不同靶材，實(shí)現(xiàn)反應(yīng)濺射或者單質(zhì)濺射，達(dá)到最終的產(chǎn)品性能要求。
詳細(xì)介紹產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
1、緊湊型設(shè)計(jì)，高度集成化設(shè)備外觀
2、轉(zhuǎn)架轉(zhuǎn)速可調(diào)節(jié)，公自轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)架，轉(zhuǎn)速可設(shè)定
3、多元鍍層沉積技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)單一鍍層沉積及多種鍍層復(fù)合沉積
產(chǎn)品參數(shù)
百兆級(jí)涂布系統(tǒng)600*1200mm百兆級(jí)涂布系統(tǒng)600*1200mm，涂布寬幅為600mm。涂布系統(tǒng)的核心零部件：涂布模頭、高精度注射泵，做到了研發(fā)設(shè)計(jì)、生產(chǎn)制造一體化，可根據(jù)客戶(hù)的不同需求來(lái)進(jìn)行定制化設(shè)計(jì)。同時(shí)設(shè)備可配自動(dòng)上下料裝置，適應(yīng)產(chǎn)線的自動(dòng)化生產(chǎn)過(guò)程。詳細(xì)介紹產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
1、設(shè)備配備減震機(jī)構(gòu)，保障涂布過(guò)程涂布膜層均一性。
2、整套系統(tǒng)搭載FFU空氣凈化系統(tǒng)，保障設(shè)備運(yùn)行及產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程潔凈度要求。
3、搭配了高精度注液泵出液精度于1%。
4、排廢及清洗一體化，有預(yù)涂或預(yù)擠出等設(shè)計(jì)，確保設(shè)備運(yùn)行時(shí)狹縫模頭內(nèi)無(wú)氣泡。
5、設(shè)備配有專(zhuān)用脫氣模組降低氣泡對(duì)涂層的影響。
產(chǎn)品參數(shù)
百兆級(jí)涂布系統(tǒng)1200*600mm百兆級(jí)涂布系統(tǒng)1200*600mm，涂布寬幅為1200mm，使用高精密狹縫式涂布技術(shù)，可將藥液涂布在玻璃基板、FTO玻璃、ITO玻璃、以及帶有預(yù)涂覆層的剛性基板上，采用高精密狹縫式涂布方式，成膜厚度均一性好、效率高。詳細(xì)介紹產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
1、設(shè)備配備減震機(jī)構(gòu)，保障涂布過(guò)程涂布膜層均一性。
2、整套系統(tǒng)搭載FFU空氣凈化系統(tǒng)，保障設(shè)備運(yùn)行及產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程潔凈度要求。
3、搭配了高精度注液泵出液精度于1%。
4、排廢及清洗一體化，有預(yù)涂或預(yù)擠出等設(shè)計(jì)，確保設(shè)備運(yùn)行時(shí)狹縫模頭內(nèi)無(wú)氣泡。
5、龍門(mén)結(jié)構(gòu)采用氣浮平臺(tái)，導(dǎo)軌采用花崗巖材質(zhì)，調(diào)平后平整度優(yōu)于土5um。
產(chǎn)品參數(shù)
百兆級(jí)涂布系統(tǒng)1200*600mm百兆級(jí)涂布系統(tǒng)1200*600mm，配備涂布機(jī)、VCD、退火爐等設(shè)備，可通過(guò)機(jī)械手實(shí)現(xiàn)涂布基板在不同設(shè)備之間的自動(dòng)轉(zhuǎn)運(yùn)。自動(dòng)化程度高，可實(shí)現(xiàn)更高的生產(chǎn)效率。詳細(xì)介紹產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
1、設(shè)備配備減震機(jī)構(gòu)，保障涂布過(guò)程涂布膜層均一性。
2、整套系統(tǒng)搭載FFU空氣凈化系統(tǒng)，保障設(shè)備運(yùn)行及產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程潔凈度要求。
3、搭配了高精度注液泵出液精度于1%。
4、排廢及清洗一體化，有預(yù)涂或預(yù)擠出等設(shè)計(jì)，確保設(shè)備運(yùn)行時(shí)狹縫模頭內(nèi)無(wú)氣泡。
5、龍門(mén)結(jié)構(gòu)采用氣浮平臺(tái)，導(dǎo)軌采用花崗巖材質(zhì)，調(diào)平后平整度優(yōu)于土5um。
產(chǎn)品參數(shù)
